芯片半导体作为高精行业,其对环境的稳定性要求极高,目前市面上已有不少针对环境控制的产品供应商,为芯片半导体领域制造的不同环节提供相应价值。
同飞股份
深耕工业温控,拥有顶装式、一体式、分体式、壁挂风冷工业空调以及MCW系列水冷却机等液冷产品。
为半导体制造工艺提供包括氟化液制冷机组(控温精度±0.02℃)、高精度制冷机组(控温精度±0.01℃)及耐温800℃的高效换热器,覆盖刻蚀、CMP等关键工艺流程。满足温度变化范围大、负载瞬间变化、设定温度随时改变等工况要求。目前已与上海微电子等达成合作。
极测(南京)技术
专注于芯片半导体、光学光电、量子计算等高精领域,凭借其自主研发的精密环境控制技术,最高可实现环境空气温度稳定性 ±0.002℃(2mk),温度均匀性小于 16mK/m,洁净度ISO Class 1 级,湿度稳定性维持在 ±0.3% RH,压力波动控制在 ±3Pa 以内;高精密冷水机组系列产品,冷冻水出水温度稳定性最高可达±0.002℃(2mk)。为众多半导体核心工艺设备提供配套系统。
已服务多家行业领军企业与国家重点实验室(目前已知晓中科院西安光学精密机械研究所等,其余企业因涉及保密协议暂未公开透露)
海立股份
是全球领先的高端制造核心零部件供应商。其在芯片半导体行业,凭借自身在压缩机等关键部件的技术优势,为半导体制造提供冷却系统支持。子公司海立特冷与国际巨头合作开发先进封装光刻机冷却系统装置,技术指标达±0.01℃(优于行业普遍的 ±0.1℃标准)。
宇电温控科技
宇电温控科技以智能温控器为核心,其产品在温度控制精度方面表现出色,其 AI-8848/8888 FA 系列多回路温控器在刻蚀设备中实现 ±0.01℃超高精度控温,在碳化硅长晶炉 2200℃高温环境下控温精度达 ±0.5℃,性能追平进口一线品牌。公司自主研发的 APID 自整定自适应算法可在 300ms 内恢复设定值,过冲量<0.3℃,并通过 IATF 16949 认证,产品可靠性达到 SIL3 标准。
