晶圆制造是一项对环境极为敏感的工艺。无论是光刻、刻蚀,还是封装环节,温度的细微波动和空气中的微小颗粒都可能带来灾难性后果,影响芯片的功能或造成短路或断路,导致整片晶圆报废。
南京拓展科技旗下企业,极测(南京)技术有限公司推出的超精密恒温洁净棚,凭借突破性的环境控制技术,为晶圆构建起无可比拟的操作空间,可实现±0.002℃,±0.005℃,±0.05℃,±0.01℃,±0.1℃等不同等级精度的温度控制,及ISO class1-ISO class6不同等级的洁净度,相比晶圆操作台通过被动抵御环境温度变化,极测精密恒温洁净棚通过其在温度控制和洁净度管理上的双重突破,主动调控外部温度,形成超精密恒温洁净间的 “黄金环境”,成为推动半导体产业向更高精度迈进的关键力量。
极测在温度控制方面最高可实现令人惊叹的±0.002℃温度控制精度。这一精度意味着,在整个晶圆操作过程中,环境温度几乎保持绝对稳定,温度水平均匀性小于16mK/m,几乎消除了因温度变化对晶圆产生的热应力和尺寸误差。在洁净度方面,精密恒温洁净棚通过空气过滤系统和气流组织设计,实现了最高优于ISO class1 的洁净度等级,远超普通洁净室的标准。
除了高精度的温度和洁净度控制,极测精密恒温洁净棚还具备全场景非标定制能力。根据不同客户的需求和晶圆操作工艺的特点,可以灵活调整温湿度稳定性、洁净度,以及抗微振、防磁、隔音等个性化参数。无论是高端芯片制造企业,还是科研机构的晶圆研发项目,都能在这里找到最适合的环境解决方案。精密恒温洁净棚现已服务多家芯片半导体领军企业与国家重点实验室。
此外,极测精密恒温洁净棚还配备了智能运维系统。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线,操作人员可以直观地掌握环境变化情况;数据自动保存且可随时导出,运行状态与故障状态同步记录,方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。自动安全保护系统更是为设备的稳定运行提供了全天候保障,一旦出现异常,系统将立即启动保护机制,减少因故障导致的测量中断和晶圆报废。
极测先进的环境控制技术,为晶圆操作空间树立了新的行业标准。精密恒温洁净棚不仅解决了半导体制造中环境控制的难题,更为芯片的高精度制造和研发提供了坚实的保障。随着半导体技术的不断发展,对晶圆操作环境的要求也将越来越高,而极测精密恒温洁净棚,必将在未来的产业发展中发挥更加重要的作用,助力我国半导体产业迈向新的高度。
